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随着VLSI向深亚微米发展、集成电路密度不断提高,互连延迟成了加快器件速度的一个限制因素,由于互连延迟是由金属连线间的电阻及电容所产生的,因此萃取寄生参数的工作更显重要.文章使用GMRES方法求解了3-D寄生电容分析的复系数线性方程组,并将其与SOR迭代法相比较.这种方法可以降低方程的迭代次数约20%,并明显减少了方程的求解时间.