【摘 要】
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任何一种 DVD光盘都是由信息记录层、介质保护层、金属反射层……等薄膜组成的二层、三层或多层光匹配的薄膜体系。不同膜系要用不同的真空淀积技术制备 ,各制备单元最终连成
【机 构】
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北京航空航天大学!北京100083
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任何一种 DVD光盘都是由信息记录层、介质保护层、金属反射层……等薄膜组成的二层、三层或多层光匹配的薄膜体系。不同膜系要用不同的真空淀积技术制备 ,各制备单元最终连成完整的光盘生产线。本文着重论述各类光盘薄膜材料的真空淀积技术和相应的生产线 ,旨在探讨光盘生产线国产化的前景
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