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期刊论文
FEA用的非晶态金刚石碳薄膜
FEA用的非晶态金刚石碳薄膜
来源 :光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxing515
【摘 要】
:
文章对用于FEA的非晶态金刚石碳膜的制备、测量、场致发射特性以及发射性能改良的掺氧非晶态金刚石碳薄膜作了介绍。
【作 者】
:
季旭东
【机 构】
:
华东电子集团公司
【出 处】
:
光电技术
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
FEA
非晶态金刚石碳薄膜
场致发射阵列
掺氧
场致发射显示器件
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文章对用于FEA的非晶态金刚石碳膜的制备、测量、场致发射特性以及发射性能改良的掺氧非晶态金刚石碳薄膜作了介绍。
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