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以NbCl5作为前驱物，用微波催化的溶胶-凝胶法制备了Nb2O5薄膜，并在不同温度下进行热处理。经透过率测试及用X射线衍射分析仪和原子力显微镜对薄膜的相结构和表面形貌进行测试分析，测试结果表明：制得的薄膜主晶相为假六方Nb2O5晶相（TT-Nb2O5晶相）。薄膜厚度具有良好的透光率、良好的空架结构。