稀土离子掺杂TiO2-20Wt%SnO2薄膜湿敏性能研究

来源 :内蒙古工业大学学报（自然科学版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxl122702985

【摘要】

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本试验采用溶胶-凝胶工艺在印有电极的石英玻璃表面,通过浸渍-提拉法制备稀土离子掺杂的TiO2-20wt%SnO2复合薄膜.研究当测试频率为0.01 kHz时,烧结温度和稀土掺杂量对薄膜湿

【作者】

：

刘红伟史志铭李红霞

【机构】

：

内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特,010051内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特,010051;内蒙古新材料工程技术研究中心,呼和浩特,010051;

【出处】

：

内蒙古工业大学学报（自然科学版）

【发表日期】

：

2010年2期

【关键词】

：

二氧化钛薄膜稀土湿敏性能离子掺杂

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本试验采用溶胶-凝胶工艺在印有电极的石英玻璃表面,通过浸渍-提拉法制备稀土离子掺杂的TiO2-20wt%SnO2复合薄膜.研究当测试频率为0.01 kHz时,烧结温度和稀土掺杂量对薄膜湿敏性能的影响.试验结果表明:在400℃和500℃下烧结的薄膜的湿敏性能要优于在600℃和700 C烧结的薄膜的湿敏性能;掺杂稀土离子的薄膜的感湿性能得到了改善,固有阻值降低;400 C烧结的0.5wt%La2O3掺杂的薄膜在45～95RH%湿度范围内阻抗值下降两个数量级;500℃下烧结的0.2wt%CeO2掺杂的薄膜在25～95RH%湿度范围内阻抗值下降两个数量级.

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