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高温合金中痕量杂质对合金性能的严重影响而迫切需要对其含量进行准确测定，但由于样品成分复杂致使干扰严重，且其杂质含量极低，传统分析方法难以满足测定要求。本文采用激光剥蚀固体进样与电感耦合等离子体质谱技术对高温合金中近20种痕量元素进行分析。对分析条件进行了全面系统的优化，使高温合金中大多数痕量元素通过层层剥蚀的激光剥蚀过程被稳定地蒸发，从而顺利对低沸点杂质元素进行了测定。考察了各元素的干扰情况，比较了分别以^71Ga，^115In，^205Tl或^61Ni为内标时的校正作用，选取^71Ga为内标，由高温合金