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微机械加工技术在微传感器中的应用分析

来源 :中国设备工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pjkxqx

【摘 要】

：

随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述

【作 者】

：

裘敏浩 

【机 构】

：

贵州电子信息职业技术学院

【出 处】

：

中国设备工程

【发表日期】

：

0年期

【关键词】

：

为机械加工技术 微传感器 应用 

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论文部分内容阅读

随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用。

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