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基于泰曼格林干涉仪,用不同的激光器对不同表面粗糙度的物体进行了测量,详细研究了激光散斑的特性,找出其规律。理论和实验研究表明,增大激光波长和光学系统的物方孔径角,选择适当表面粗糙度的被测物体是提高散斑对比度的关键因素。本文的研究结果可用于数字散斑干涉测试中。
激光散斑特性的实验研究
【摘 要】
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基于泰曼格林干涉仪,用不同的激光器对不同表面粗糙度的物体进行了测量,详细研究了激光散斑的特性,找出其规律。理论和实验研究表明,增大激光波长和光学系统的物方孔径角,选
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年1期
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