论文部分内容阅读
首先综述了处理低速稀薄气体流动的一些方法：线化Boltzmann方程方法、Lattice Boltzmann方法（LBM）、加滑移边界的Navier-Stokes方程、以及DSMC方法，并讨论它们在模拟MEMS中过渡领域低速流动特别是内部流动所遇到的困难，其中表明了LBM现有方案不适合模拟过渡领域中的MEMS流动问题．信息保存（IP）法通过保存一个模拟分子所代表的大量分子的平均信息，克服了流速低使得信息噪声比小而引起统计模拟的困难．本文给出了方法的一些理论证文．MEMS中内部流动的特点，即流速低和大的长宽