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下一代空间天文仪器与地基望远镜需要基于MOEMS的可编程狭缝模具．该模具用于必须工作在低温环境下的多目标光谱仪（MOS）。1个5x5单晶硅微镜阵列（MMA）的初等模型已经成功地制作与检测。100μm×200μm微镜可以通过静电驱动倾斜，产生20~机械倾角。在低温制冷前后温度低于100K的情况下，微镜阵列已经被成功驱动。1个微镜阵列包括2个不同的芯片：镜面芯片与电极芯片，分别制作在硅绝缘体基片上。为了组装大型阵列（100×200微镜）．需要高精密的装调与人工处理抑制。本文为此装置发展了1