【摘 要】
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在硅片倒角过程中,影响到硅片边缘质量的因素很多,主要是主轴精度、Y轴端跳、砂轮金刚石密度等。设备参数中切入量对倒角边缘质量影响也很大,切入量越小,边缘质量越好,硅片边
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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在硅片倒角过程中,影响到硅片边缘质量的因素很多,主要是主轴精度、Y轴端跳、砂轮金刚石密度等。设备参数中切入量对倒角边缘质量影响也很大,切入量越小,边缘质量越好,硅片边缘出现崩边、亮点的几率也越小。设备本身的冷却水也很重要,当冷却水流量达到一定量时,降低砂轮与硅片接触位置的表面温度,进而提高硅片边缘的倒角质量,同时延长砂轮使用寿命。通过倒角砂轮使用实验,来确定影响砂轮使用寿命的因素有哪些,并对砂轮的选用给出建议。
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