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多束质子辐照晶闸管的退火研究
多束质子辐照晶闸管的退火研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ymlazy61
【摘 要】
:
研究了多束质子辐照对晶闸管开关特性和通态电压的影响,分析了退火机理,找出了最佳退火流程,获得了优良的通态电压与关断时间(VTM~Tq)的折衷关系.
【作 者】
:
邹睿
林理彬
【机 构】
:
四川大学物理系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
多束质子辐照
晶闸管
退火
multiple proton irradiation
thyristor
anneal
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研究了多束质子辐照对晶闸管开关特性和通态电压的影响,分析了退火机理,找出了最佳退火流程,获得了优良的通态电压与关断时间(VTM~Tq)的折衷关系.
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