多束质子辐照晶闸管的退火研究

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研究了多束质子辐照对晶闸管开关特性和通态电压的影响,分析了退火机理,找出了最佳退火流程,获得了优良的通态电压与关断时间(VTM~Tq)的折衷关系.
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