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破坏性物理分析（DPA）是用于检测半导体器件的。经检测发现，不合格原因既有半导体器件生产厂的，也有使用厂和其它方面的。且使用厂的问题比例不低，不容忽视。本文最后指出，正确的技术分析和公正的判断对DPA工作极为重要。
半导体器件DPA不合格的根源研究
【摘 要】
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破坏性物理分析（DPA）是用于检测半导体器件的。经检测发现，不合格原因既有半导体器件生产厂的，也有使用厂和其它方面的。且使用厂的问题比例不低，不容忽视。本文最后指出，正确的技
【机 构】
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总装备部军用电子元器件DPA实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年1期
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