【摘 要】
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Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapasc
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Soitec SA公司日前宣布，已与ASM国际制造出300mm直径的应变绝缘硅(sSOI）晶圆。两家公司还宣布拓展双方的合作关系，进一步提升制造效率并开发sSOI产品．sSOI品圆应变值为1．5gigapascal(GPa)，晶圆同质度为±7％，创记录的应变对应的硅品格变形度为近1％。应变硅层厚度为200埃，
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[原文]$$圣人~([2])作《易》~([3]),立象~([4])以尽意~([5])。意,先天~([6]),书之本也;象,后天~([7]),书之用也。$$[注释]$$[1]《艺概·书概》:清代文学家刘熙载所撰《艺概》
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