体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

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体心立方W膜(110)织构系数T110的变化存在非单调的厚度尺寸效应,这依赖于薄膜中晶粒形核和长大时表面能和应变能的相互作用,薄膜表面结构演变反映了两者的竞争过程.应用小波变换结合分形几何描述薄膜表面结构各向异性行为,用此法构建了薄膜织构系数T110与表面结构各向异性的关系,表明薄膜晶体取向存在表面映射.
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