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平行动态被动无阀门的 micropump 被设计，它由三层鈥攙a lve，隔膜和电磁的卷组成。阀门湿乎乎地在硅晶片被蚀刻，隔膜是电影与嵌入的永久磁铁帖子在硅晶片上旋转了的 PDMS (polydimethyl siloxane ) ，并且卷是硅底层上的 electroplated。在卷产生的磁场的使活动下面，灵活隔膜能向上并且向下被代替。在分析灵活的膜的磁性、机械的特征和嘴的方向依赖以后， micropump 被设计。并且 micropump 嘴的相对长度(L/d ) 被花 4。7 永久磁性的柱子穿的 7