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等离子体刻蚀是金刚石膜的抛光、切割和图形化等加工过程中一项很重要的技术。本文综述了国内外等离子体刻蚀金刚石膜的研究成果。
等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
【摘 要】
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等离子体刻蚀是金刚石膜的抛光、切割和图形化等加工过程中一项很重要的技术。本文综述了国内外等离子体刻蚀金刚石膜的研究成果。
【机 构】
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广东石油化工学院机电工程学院
【出 处】
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佛山陶瓷
【发表日期】
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2012年8期
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