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本文介绍了溅射离子泵、吸气剂等吸附真空泵在微波管生产过程中的内的应用,提高了管内的真空度,从而提高了微波管的可靠性.
吸附真空泵在微波管中的应用
【摘 要】
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本文介绍了溅射离子泵、吸气剂等吸附真空泵在微波管生产过程中的内的应用,提高了管内的真空度,从而提高了微波管的可靠性.
【机 构】
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安徽华东光电技术研究所,安徽·芜湖,241002;中国重型机械研究院,陕西·西安,710032
【出 处】
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科协论坛（下半月）
【发表日期】
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2008年9期
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