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本文首次采用溶凝胶浸泡涂布法,研究了 NASICON 薄膜的制备技术及薄膜的一些特性,并探索作为敏感于 Na~+的 ISFET 和薄膜传感器的可能性。
敏感于Na^＋的NASICON薄膜的制备及特性
【摘 要】
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本文首次采用溶凝胶浸泡涂布法,研究了 NASICON 薄膜的制备技术及薄膜的一些特性,并探索作为敏感于 Na~+的 ISFET 和薄膜传感器的可能性。
【机 构】
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机械电子部重庆仪表材料研究所,法国格勒诺布尔离子和固体电化学实验室
【出 处】
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仪表材料
【发表日期】
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1990年3期
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