喷墨打印硅基太阳电池栅极金属化工艺研究

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以低粘度纳米银墨水为喷墨材料,采用自主研发的喷墨打印设备实现太阳电池栅极金属化。通过数值模拟和实验方法研究喷印过程中"咖啡环"、"马鞍型"缺陷的形成机制及抑制方法。研究喷印分辨率、喷印层数及在线固化温度等参数对栅极高宽比及三维形貌的影响,并进行实验研究,结果表明,当点间距控制在35 μm时,得到栅极宽度最小;在线固化温度控制在8090℃时,纳米银墨水溶剂蒸发完全,多层喷印后栅极高度呈线性增加,每层增高0.5 μm,且栅极宽度维持在40 μm,其三维形貌光滑且均匀。烧结温度200℃时,栅极电阻率5.04×10-6 Ω?cm。
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