【摘 要】
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应用相关热力学数据研究了改良西门子法还原炉内涉及到的＂Si—Cl—H＂三元系复杂化学反应,进一步研究了温度、压强和初始进料摩尔比n（H2）/n（SiHCl3）对硅产率的影响,拟合得到硅产率随
【机 构】
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昆明理工大学冶金与能源工程学院,云南冶金集团总公司技术中心
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应用相关热力学数据研究了改良西门子法还原炉内涉及到的＂Si—Cl—H＂三元系复杂化学反应,进一步研究了温度、压强和初始进料摩尔比n（H2）/n（SiHCl3）对硅产率的影响,拟合得到硅产率随这些影响因素的变化图。通过分析得到：在低压、高温以及相对较大的初始进料比条件下,对SiHCl3氢还原过程更有利,硅产率也相对较高。并绘制了在初始进料比为15和压强为150 kPa的条件下,体系内平衡气相组分随温度的变化图。最后确定了最佳操作条件为：T=1 425 K,n（H2）∶n（SiHCl3）=15,p=1.5 k
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