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残余气体分析仪可以得到真空系统残余气体的质谱图，并给出各个质荷比峰的离子流值，但不能直接测量残余气体中各组分气体的分压强。在考虑到组分气体对某个峰的贡献可以线性叠加的基础上，本文介绍了峰的离子流与分压强、仪器灵敏度、传输几率和丰度之间的关系，从而得到了利用RGA质谱峰的离子流计算残余气体分压的公式。