【摘 要】
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采用锰砂对半导体行业含氨-双氧水废水进行双氧水去除的试验研究。结果表明:双氧水对COD测值有强烈影响,且当控制pH在10~11左右,反应时间在3min以上时,双氧水的去除率可达到9
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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采用锰砂对半导体行业含氨-双氧水废水进行双氧水去除的试验研究。结果表明:双氧水对COD测值有强烈影响,且当控制pH在10~11左右,反应时间在3min以上时,双氧水的去除率可达到99%左右。锰砂试验过程中,催化效率稳定,抗冲击能力强,去除率始终保持在98%以上;且锰离子流失率极低,小于1mg/L;运行成本极低,远小于0.07元/吨废水。
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