【摘 要】
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采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化，结合材料去除速率测量，研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明，熔石英表面重
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化，结合材料去除速率测量，研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明，熔石英表面重沉积层厚度约16nm，亚表面缺陷层大于106nm重沉积层去除后损伤阈值增大，随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加，最后趋于稳定；然而，随蚀刻时间的增加，其表面粗糙度增大。分析表明，蚀刻到200nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值，有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度。
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