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爱费科公司(AVCO)和埃巴拉公司(Ebara)的电子束干式净化过程与其它克劳斯尾气净化工艺相比,具有许多优点:净化率较好;费用较低;无二次污染问题。此外,由于能耗低,对高 SO-2浓度可结合采用多段设计特点以达到所要求的脱除效率。对未经焚烧的尾气采用电子束净化工艺,从节能观点来看,更为有利,因为可以不使用焚烧炉。本法用于克劳斯尾气净化还须进行一些工业性试验。