超精密机床位置伺服控制器的研究

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介绍了自行研制的HCM-1超精精同床位置伺服控制器的硬件结构和伺服控制策略。其中,硬件方面采用了基于PC总一的开放式的体系结构;伺服控制方面,则在双轴同步控制的基础上,采用了由单频激干涉 高精度光电码盘构成的双反馈复合控制算法,可实现半闭环和全闭环控制。实验结果表明,使用本位置伺服控制器的超精密机床的轮廓跟踪精度可达0.5μm。
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