矩形双岛硅膜结构扩散硅压力传感器

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lw10251
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文报道一种已获国家专利的新型扩散硅压力传感器结构。它由带有矩形双岛的方形硅膜和扩散硅力敏电阻全桥组成。用各向异性腐蚀工艺形成其微机械结构。力敏电阻位于小岛形成的沟槽内。由于外应力高度集中于这些沟槽内,故器件的压力灵敏度比C型硅杯结构提高五倍左右。采用该结构还可实现非线性内补偿。本文讨论了最佳补偿条件并由实验得到证实。已制成量程为100kPa,非线性、滞后、重复性均优于5×10~(-4)F·S,满程输出150mV/V和量程为6kPa,非线性、滞后、重复性均优于5×10~(-4
其他文献
目的:研究十味板蓝根颗粒的解热镇痛作用。方法:皮下注射啤酒酵母悬液致发热模型,观察十味板蓝根解热作用及对发热大鼠下丘脑中前列腺素E2(PGE2)含量的影响,初步探索其解热机制;醋酸
安全是社会生存和发展的基础,安防是城市的刚需,没有安防便无从谈起智慧城市的建设。在社会公共安全防范体系中,视频监控是应用最有效、最广泛的一种手段。本文着重分析了黑
针对高校创新创业教育现状,建设"双平台-课程-项目"的《职业卫生与环境安全》课程体系,形成一条专创融合的教学途径。编写校地合作教材,完善课程学时分配和考核方法,建立理实
本文通过全自动轮胎整形机上应用的6443型双分量形位传感器的结构剖析和桥路分析,阐述了它的工作机理和设计制作方法;分析了这种双分量传感器在结构设计上的合理之处,并认为
专属钢琴教师:相对其它一体机产品,海尔乐趣Q7主打幼儿钢琴教育,定制化的乐趣P61MIDI键盘加上U—Piano钢琴教学软件,能让Q7瞬间从—体机电脑变身钢琴。61键设计的乐趣P61MIDI键盘
加州鲈常见鱼病的药物防治加州鲈又名大口黑鲈,是一种淡水温水性鱼类,我场于1987年从广东省引进试养,经过几年来的实践证明,这种鱼能适应本地的生态环境,而且生长速度快,当年就可以上市
本文以亚硝酸钠、苯酚为原料先制得对亚硝基苯酚,再用硫化钠还原制得对氨基苯酚。对还原反应采用正交试验进行工艺研究。优化后的工艺反应条件稳定,收率较原来提高了3.5%,具
《医疗事故处理条例》的实施,赋予了病历以法律为依据的重要属性,也就是说病案中的每一句话,甚至每一个字都是具有法律效力的。所以,必须依法管理病案,依法填写病案首页,依法
随着灌装线速度的提高,对容器进行适当涂层的要求也越来越高。就目前的高速灌装来说,涂层是必要的。它能明显降低摩擦系数,使玻璃容器流畅地通过生产线。
随着我国社会主义市场经济的快速发展,消费者的心理和行为发生了很大的变化。把握消费者心理和行为的基本特征及发展趋势,是企业参与市场竞争的重要前提。