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基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
300mm晶圆线超纯水水质浅析
【摘 要】
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基于现代超纯水系统的若干实践,浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标),述评300mm线水质要求上的现实性。
【机 构】
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江苏无锡市荷叶新村28号
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2008年02期
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