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利用波长为10．6gm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法，在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。实验表明，当激光功率为600W，扫描速度为2mm／s，通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应，在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织，其显微硬度最高可达2500HV。