【摘 要】
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利用TaCl5-Ar-C3H6-H2反应体系，采用化学气相渗透（CVI）法在炭毡中沉积TaC，并研究了CVI工艺参数如气体流速、滞留时间、沉积温度、沉积压力和H2的加入等对碳化钽在炭毡中沉积速率（
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利用TaCl5-Ar-C3H6-H2反应体系，采用化学气相渗透（CVI）法在炭毡中沉积TaC，并研究了CVI工艺参数如气体流速、滞留时间、沉积温度、沉积压力和H2的加入等对碳化钽在炭毡中沉积速率（用炭毡质量分数的增加来表示）的影响。研究表明：CVI—TaC受表面反应控制的最大气体流速为40cm／s，最小滞留时间为1．2s；沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程，沉积速率随沉积温度的升高先增加后减小，在950℃时达到最大值；在1000℃时，CVI过程受孔隙扩散所控制；沉积速率随沉积压力的升
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