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本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪 ;针对该干涉仪的光路结构特点 ,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法 ,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测 ;实验测量结果表明该定位方法能够实现 0 .4 1nm的定位精度
双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
【摘 要】
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本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪 ;针对该干涉仪的光路结构特点 ,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2003年S1期
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