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本文在对超纯电子混合气体配制进行全面阐述的基础上,对标准气体的精度问题进行了深入探讨,以期为我国后期电子混合气体的配制奠定良好基础.
超纯电子混合气体及标准气体的配制技术探究
【摘 要】
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本文在对超纯电子混合气体配制进行全面阐述的基础上,对标准气体的精度问题进行了深入探讨,以期为我国后期电子混合气体的配制奠定良好基础.
【机 构】
：
杭州贝斯特气体有限公司,浙江 杭州,311400
【出 处】
：
中国化工贸易
【发表日期】
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2019年14期
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