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故障树分析法已被广泛应用在工业系统中,但在测控装备系统中的应用比较少,在光电经纬仪测量系统中的应用更是不多见。首先介绍了光电经纬仪故障树分析法原理,并结合光电经纬仪测量系统中出现的故障依据故障树分析法进行实例化建模、分析。分析结果表明:故障树分析法在定位方面具有简明、直观等特点,在光电跟踪测量系统故障定位过程中使用该方法,有助于提高问题定位的效率,提升光电经纬仪可维护性。