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用ＭＯＶＰＥ方法在蓝宝半底上生长了高纯氮化镓外延材料。
高纯氮化镓外延材料的制备
【摘 要】
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用ＭＯＶＰＥ方法在蓝宝半底上生长了高纯氮化镓外延材料。
【机 构】
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中国科学院半导体材料开放实验室
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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1998年8期
【基金项目】
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863计划资助项目
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