光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究

来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：watermb

【摘要】

：

对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID

【作者】

：

申远王怡影竺长安齐向东

【机构】

：

合肥师范学院电子信息工程学院,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

：

中国科学技术大学学报

【发表日期】

：

2014年2期

【关键词】

：

光栅刻划机精密定位 BP神经网络 PID控制 grating ruling machine precision positioning BP neural n

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对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实时调节PID控制参数,实现精密定位的自适应控制.通过控制实验,稳定地获得了5 nm以内的定位精度.

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