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由于在线测试的要求,断裂强度将不便于采用显微镜观测、拍照和加外力等方法来测量.使用发热梁作驱动将待测多晶硅拉断,只须读取拉断时外加的电流就能计算出多晶硅的断裂强度.就是说,使用电测量的方法测试多晶硅的断裂强度,有测试方法简单的效果.并且通过模拟和实验验证,其精度足以满足工艺线在线测试的要求.
一种基于热执行器的多晶硅断裂强度的电测量法
【摘 要】
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由于在线测试的要求,断裂强度将不便于采用显微镜观测、拍照和加外力等方法来测量.使用发热梁作驱动将待测多晶硅拉断,只须读取拉断时外加的电流就能计算出多晶硅的断裂强度.
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2005年4期
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