飞秒脉冲激光沉积法的动力学过程实验研究

来源 :江汉大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoyanger88

【摘要】

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用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1．14×10^13W／cm^2的激光作用在Bi4Ti3O12陶瓷靶、Cu靶，FeSi2合金靶上，研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律：内芯均为白色对应于

【作者】

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周幼华陈娴娟乔燕陆培祥郑启光

【机构】

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江汉大学物理与信息工程学院,华中科技大学激光技术国家重点实验室

【出处】

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江汉大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

：

飞秒脉冲激光沉积薄膜 Β-FESI2 femtosecond laser pulsed laser deposition （PLD） thin film

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用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1．14×10^13W／cm^2的激光作用在Bi4Ti3O12陶瓷靶、Cu靶，FeSi2合金靶上，研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律：内芯均为白色对应于高温高压等离子体；紧跟内芯的是等离子体的复合形成中性粒子的区域；颜色单一的外层是温度较低的中性粒子和低温等离子体区．飞秒脉冲激光产生的等离子体呈cos^4θ的角分布。在准分子脉冲激光沉积下衬底温度为500℃时β-FeSi2薄膜的生长模式是Volmer-Weber模式，衬底温度为550℃时3-FeSi2薄膜

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