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介绍了国内外对于流化床法制备多晶硅过程中无定形硅粉成核机理、反应器加热方式的研究。随着研究的不断深入,经典成核理论与基于聚合反应的成核机理已成为目前两种比较成熟的机理,但同时又存在着缺陷。为了抑制壁面硅沉积的发生和无定形硅粉的形成,研究者先后提出外加热、内加热、微波加热等加热方式及相应的流化床反应器结构。