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采用三相埋沟结构，设计并研制成功用于高背景下红外探测器的高灵敏度４×１２８元ＴＤＩＣＣＤ信号处理器件，器件转移效率９９．９９％，动态范围６０ｄＢ，时钟频率１０ＭＨｚ文章详细阐述该器件的工作原理，结构设计和制作工艺。
4×128元HgCdTe红外焦平面TDI CCD信号处理器件
【摘 要】
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采用三相埋沟结构，设计并研制成功用于高背景下红外探测器的高灵敏度４×１２８元ＴＤＩＣＣＤ信号处理器件，器件转移效率９９．９９％，动态范围６０ｄＢ，时钟频率１０ＭＨｚ文章详细阐述该器件的工作原理，结构设计和制作工艺。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1998年2期
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