【摘 要】
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为了测得外差干涉仪的相位移，采用插频法对外差干涉仪的参考信号与测量信号进行了处理，从而测得两个信号的相位差即多普勒频移。插频法基于过零检测原理，即在测量信号与参考信号
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院
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为了测得外差干涉仪的相位移，采用插频法对外差干涉仪的参考信号与测量信号进行了处理，从而测得两个信号的相位差即多普勒频移。插频法基于过零检测原理，即在测量信号与参考信号上升沿来临时，分别对两信号插入脉冲，通过对插入的脉冲计数，实现相位差的测量。外差干涉仪光源是拍频为2．2MHz的He—Ne激光，使用迈克尔逊于涉仪测量系统，插入脉冲频率为100MHz，计数及乘除等相关运算用现场可编程门阵列实现，理论分析测量分辨率可以达到11/1000λ，约为6．9608nm。结果表明，该方法具有很强的实际应用价值。
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