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化学机械抛光是晶圆全局平坦化的核心技术，其中有效的终点检测是影响抛光效果的关键。若不能有效地监测抛光过程，便无法避免晶圆抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP原理与应用的基础上。系统分析了CMP终点检测技术的多种应用方法及其优缺点。
化学机械抛光终点检测技术研究
【摘 要】
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化学机械抛光是晶圆全局平坦化的核心技术，其中有效的终点检测是影响抛光效果的关键。若不能有效地监测抛光过程，便无法避免晶圆抛光过度或不足的缺陷。本文在介绍CMP原理与应
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年12期
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