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期刊论文
激光在微细加工中的应用
激光在微细加工中的应用
来源 :苏州市职业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bailian121
【摘 要】
:
本文叙述了准分子激光应用在微细机械加工中的先进技术以及研究的前景.
【作 者】
:
裘迅
戈晓岚
【机 构】
:
苏州职业大学,江苏理工大学
【出 处】
:
苏州市职业大学学报
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
准分子
激光
准分子激光
精细加工
excited dimer laser excimer laser minute machining
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本文叙述了准分子激光应用在微细机械加工中的先进技术以及研究的前景.
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