【摘 要】
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简单介绍了扫描电镜附带的X射线能谱仪（EDS）的工作原理及应用;主要介绍了能谱仪分析中常出现的谱峰鉴别问题：假峰和重叠峰;重点介绍了假峰和重叠峰的鉴别方法,假峰一般仪器可自
【机 构】
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简单介绍了扫描电镜附带的X射线能谱仪（EDS）的工作原理及应用;主要介绍了能谱仪分析中常出现的谱峰鉴别问题：假峰和重叠峰;重点介绍了假峰和重叠峰的鉴别方法,假峰一般仪器可自动识别,重叠峰可通过四种方法来鉴别：提高加速电压、利用多条谱线进行鉴别,利用谱图重构功能、增加采集时间的方法进行鉴别,通过计算实际和理论的峰高比进行鉴别,通过定量优化的方法进行确认鉴别。正确地鉴别能谱峰,可提高能谱仪定性、定量分析的精度。
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