【摘 要】
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本文简要介绍了平板显示器件（ＦＰＤ）近年来的飞速发展，论述了ＦＰＤ对薄膜的要求和常用于ＦＰＤ生产的三种类型的薄膜沉积设备，指出这是我国真空与薄膜产业发展的一次新的极好机遇。
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本文简要介绍了平板显示器件（ＦＰＤ）近年来的飞速发展，论述了ＦＰＤ对薄膜的要求和常用于ＦＰＤ生产的三种类型的薄膜沉积设备，指出这是我国真空与薄膜产业发展的一次新的极好机遇。
This article briefly introduces the rapid development of flat panel display (FPD) in recent years, discusses the requirements of FPD film and the three types of thin film deposition equipment commonly used in FPD production, pointing out that this is a new development of vacuum and thin film industry in China Excellent opportunity.
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