基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

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【摘要】

：

ZnO2,SnO2, Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜.在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性.利用电子枪蒸发薄膜工

【作者】

：

王聪史铁林李晓平

【机构】

：

华中科技大学

【出处】

：

传感器技术

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

乙醇气敏膜电子枪 ethonal sensitive film electric gun

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ZnO2,SnO2, Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜.在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性.利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜,可以取得很好的效果.与通常使用的厚膜工艺相比,薄膜工艺与MEMS工艺兼容,更适合制作微小器件.

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