弗里曼源热阴极弧放电在高温下应用中的几个问题

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介绍弗里曼源在典型气体流量下弧室内、源缝口侧、引出缝口后300mm处和监控处的真 空度间的关系,纯灯丝热和弧放电热引起的弧室内壁、料炉末端的温升分布特性,以及微渗水 蒸汽使高温灯丝氧化对放电特性的影响。同时研究了几种特殊气体放电的氦离子辅助以及灯丝 电极夹下垂引起的灯丝外短路问题。 The relationship between the vacuum level of Freeman source at 300mm at the arc chamber, the source slot side, the outlet slot and the monitoring place under the typical gas flow rate is described. The inner wall of the arc chamber and the furnace end caused by pure filament heat and arc discharge heat Temperature distribution characteristics, as well as the impact of micro-water vapor on the high-temperature filament filament discharge characteristics. At the same time, several kinds of helium ions assisted by special gas discharge and the problem of short circuit outside the filament caused by the sagging of the electrode clip of the filament were studied.
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