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机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断。介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节。大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率。
视觉系统在硅片检测上的应用
【摘 要】
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机器视觉是利用机器代替人眼来做各种测量和判断。介绍了全自动硅片装片机中利用视觉系统对硅片的边缘进行检测,在线将有缺陷的硅片剔除,将完好的硅片送入下一个环节。大大降低了人工强度和碎片率,减少了人工与硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2010年05期
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