【摘 要】
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为了提高钛合金的高温抗氧化能力，采用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V钛合金的表面沉积了NiCoCrAlY涂层，通过SEM，EDS和XRD分析了涂层氧化前后的物相组成和组织形貌。结果表明：长时
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为了提高钛合金的高温抗氧化能力，采用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V钛合金的表面沉积了NiCoCrAlY涂层，通过SEM，EDS和XRD分析了涂层氧化前后的物相组成和组织形貌。结果表明：长时间沉积后，受基材原始表面状态和涂层择优生长作用的影响，涂层表面有大量微米级的细小颗粒和少量直径约10μm的圆丘形突起；NiCoCrAlY涂层成分与靶材相近。NiCoCrAlY涂层明显提高了钛合金的抗氧化性能，使其氧化增重速率大大降低。经高温氧化后，涂层与基底的界面处Ti，Ni等元素发生互扩散形成过渡层，随氧化时间延长
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