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采用流固耦合的方法，根据建立的谐振腔湿度测量过程模型，分析了不同排汽条件下，腔体温度的变化对谐振频率和湿度测量的影响。结果表明：随着排汽压力和马赫数的增加，谐振腔温度变化越明显，对谐振频率和湿度测量的影响越大，最大频率偏差可达10^5Hz以上，最大湿度偏差可达0．16；将腔体的有效温度拟合成马赫数与排汽压力的函数，以实现了对排汽湿度的精准测量，可使谐振频率的绝对偏差小于800Hz，将湿度偏差降低到0．002以内。