论文部分内容阅读
为了将硅片与硅片有效的键合在一起,研发了一款硅片键合设备。介绍了硅片键合原理及硅片真空键合设备的主要技术指标、设备结构、控制系统等。
硅片真空键合设备研制
【摘 要】
：
为了将硅片与硅片有效的键合在一起,研发了一款硅片键合设备。介绍了硅片键合原理及硅片真空键合设备的主要技术指标、设备结构、控制系统等。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
装备制造技术
【发表日期】
：
2017年5期
其他文献
教育部财政部《关于实施中国特色高水平高职学校和专业建设计划的意见》是国家层面启动的、旨在推动职业教育创新发展又一个重大战略部署,为不同类型职业院校提供新的发展机
对汽油机LJ469Q在试验中发生气门烧蚀的相关故障件进行分析,找出了故障原因,希望对同类型汽油机的维护与保养提供参考建议。
目的:探讨人工流产时对孕妇心理、生理的影响及异丙酚加芬太尼全麻对其预防作用.方法:将120例ASA Ⅰ～Ⅱ级孕6～12周需作人工流产的孕妇随机分为甲、乙两组,每组60例,甲组采用异
分析了机械类专业中计算机绘图的地位以及教学现状,提出以机械制图课程教学内容为主线,将AutoCAD、SolidWorks紧紧围绕机械制图课程内容、结合案例由浅入深、各操作命令合理穿插的授课方法作为计算机绘图课程的教学模式,在计算机绘图课程的内容、体系以及授课顺序上进行教学改革和创新。
新生产线增加了一台JUCENTER 6L磨削设备,运行过程中出现开动率较低的问题,未达到预期效果。现对JUCENTER 6L磨床停线率数据进行统计分析,从设备密封设计、夹具设计、工装夹
针对现有车身输送线所出现的问题点,提出了基于在现有基础上改进的新型输送方式,该输送方式仅采用一个电机和两个辅助气缸来作为输送线举升动力源。重点阐述了该输送线的设计
为了保障数控实训基地的运行更加安全、有序,培养学生规范做事、认真严谨的敬业精神,通过对实训基地的环境和工作责任采用“目视化”的方法进行精益管理。建设后实训基地的车
大功率海工电站属于海洋工程关键装备,目前由于国内科研条件落后,基础研究薄弱,没有平台电站陆基试验验证平台,在电站配套核心技术中没有话语权,基本由国外巨头所垄断。通过
集“山东省教书育人楷模”“齐鲁最美教师”等诸多荣誉于一身的徐辉老师,现任教于山东省枣庄市台儿庄区职业中等专业学校。近年来,他痴心职业教育,完美地洽释了大国“工匠精
摩擦磨损现象存在于各类机械设备中,造成了很大的经济损失。选用了一般零件最常用的45#钢作为实验材料,研究45#钢表面沉积TiN涂层后,在摩擦磨损试验机上的摩擦磨损性能。通过